什么是等離子清洗機(jī)（Plasma Cleaner）

等離子清洗機(jī)又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合。

等離子清洗機(jī)的作用

金屬器材表面附著有油脂、油污等有機(jī)物和氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，通過等離子清洗機(jī)處理可以獲得潔凈和無氧化層的表面。等離子清洗可以除去器材表面細(xì)小的油膜、銹跡或其他油類污物，而且在等離子清洗后，不會在器材表面留下殘余物。

等離子清洗機(jī)的原理

在經(jīng)過低溫等離子體表面處理后，材料表面會發(fā)生多種物理、化學(xué)變化?？捎糜谇宄蓟瘹漕愇畚铮缬椭?，輔助添加劑等，或產(chǎn)生刻蝕而粗糙，或形成致密的交聯(lián)層，或引入含氧***性基團(tuán)（羥基、羧基），通過等離子體處理得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

在同樣效果下，應(yīng)用等離子體處理表面可以得到非常薄的高張力涂層表面，有利于粘合、涂覆和印刷，不需其他機(jī)器、化學(xué)處理等強(qiáng)烈作用成份來增加粘合性。

等離子表面清洗機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域

1、半導(dǎo)體集成電路及微電子產(chǎn)業(yè)；

2、LCD液晶/LED封裝,PCB線路板制造；

3、等離子清洗機(jī)生物醫(yī)療材料表面改性修飾；

4、精密儀器、機(jī)械及電氣制造；

5、等離子處理機(jī)聚合物薄膜、紡織纖維改性處理；

6、APR大氣等離子清洗機(jī)手機(jī)觸摸屏、平板電腦玻璃蓋板清洗活化；

7、等離子表面處理器用于汽車制造、橡膠塑料產(chǎn)業(yè)。

8、適用于實驗室科研、小批量生產(chǎn)，小部件納米清洗、表面活化、表面改性或PCB制造、半導(dǎo)體LED制造、TSPOLED設(shè)備、真空等離子噴涂系統(tǒng)等工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域。

復(fù)坦希等離子表面清洗機(jī)的優(yōu)勢

1、清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序，可以提高整個工藝流水線的處理效率；

2、等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；

3、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，在等離子清潔后不會產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于綠色環(huán)保型清洗方法；

4、采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同，等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀，而且對這些難清洗部位的清洗效果相對于傳統(tǒng)氟利昂清洗的效果會更好；

5、等離子清洗機(jī)可以有效提高清洗效率，整個清洗流程在短短的幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)；

6、等離子清洗需要控制的真空度大約為100Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到，因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機(jī)溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；

7、使用等離子清洗，避免了對清洗液的運(yùn)輸、存儲、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場地很容易保持清潔衛(wèi)生；

8、等離子體清洗機(jī)可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理，因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)，而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗；

9、在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。